こんなところで使われています
- 超親水性：酸化チタンの光触媒膜
- 酸化防止： 半導体の接点部分に金を成膜
- ＭＥＭＳ：微細構造を成膜とエッチングにより作製
- 微細磁気記録：磁気ヘッドの高透磁率磁性膜で極薄のヨークを形成
- レアメタルの使用量削減：触媒用白金を表面だけに成膜
- 電磁波シールド：薄膜にすることで軽量化、小型化を実現
- サーマルヘッドの発熱体：微細な発熱部を薄膜で作製
- 透明導電膜：フラットパネルディスプレー等
- 照明器具の反射板：ＬＥＤのケース
- 各種光学フィルター： CCD用赤外線カットや、プロジェクター光源の分光フィルター
- 反射防止膜：メガネやカメラのレンズコーティング
- 装飾品：化粧品容器、家電製品等のプラスチックに金属を真空メッキ
- 静電破壊防止、電磁波透過：携帯電話、家電製品 の筐体装飾（不連続膜；金属色であるが電気は流れない）
- 可視光反射及び赤外光透過：ハロゲンランプのコールドミラー
- 水素センサー：水素吸収による光透過率の変化により検出
こんな困りごとはありませんか？
○冷却水がない場所で使いたい → 空冷式はないか？
○メッキ設備設置の規制がある → 真空成膜は無公害です。ほとんど規制はありません。
○メッキがはがれて怪我をする → 真空薄膜は(0.05～0.1μm）と極薄。はがれても安全です。
成膜装置「キット」の概要
1. チャンバーユニット：チャンバー、ゲート弁、スパッタ源（または蒸着源orプラズマ源）、ビューポート、
試料ステージ（オプション：加熱or冷却、RF印加）
2. 排気セット：油回転ポンプ、ターボ分子ポンプ(または油拡散ポンプ＋バルブ)、架台、等
3. 真空配管：（ゲージポート、ベントバルブ、ガス導入口 付き）
4. 真空計１：ピラニー真空計
5. 真空計２：熱陰極電離真空計（B-Aゲージ）
6. 真空計３：ダイアフラム真空計
7. 電源ユニット：スパッタ用ＤＣ電源（またはスパッタ用ＲＦ電源＋マッチングボックスor抵抗加熱蒸着用電源）
8. ガス導入ユニット：マスフローコントローラ（またはニードルバルブセット）
9. 試料搬送用ロボット（手動式）
10. ロードロック兼搬送室：（チャンバー取付面 ４室用または６室用）蓋、粗引きバルブ、ベントバルブ、架台
ご注意点
- ・詳細な情報をご希望の方は、お問い合わせフォームまたはお電話にてご依頼ください。
